1、測量前，先用高純度酒精和乙醚混合液或乙醚清洗被測表面與平晶工作面。再用紡綢或亞麻布輕揩，然后使平晶邊緣與測量面接觸，逐漸減少平晶傾斜，使整個面接觸，調整平晶與被測表面之間的夾角；直到出現清晰的干涉條紋為止。若出現的干涉條紋較密且不能減少時，說明被測表面上有灰塵或雜物，應再次清洗。
2、被測表面應光潔、無劃痕、碰傷和銹蝕。
3、切勿把平行平晶壓在被測表面上硬推，以免拉毛平晶工作面。
4、在平行平晶使用中要求室內溫度穩定。由于平晶的傳熱性能差，溫度的不穩定會使平晶內部溫度分布不均勻而引起變形，從而影響其平面度。對于越大的平晶其影響也越嚴重。如它的上下表面有溫差時，會產生彎曲變形；中心與邊緣有溫差時，就會變凸或凹。一般當溫度上升時，平面變凹；反之變凸。因此，在測量時平晶與被測表面應等溫一段時間，直到干涉條紋形狀不再變化或變化較少后方能進行測量，否則將由平晶與被測面之間的溫差產生變形而影響測量的準確性。 為了減少溫度對測量的影響，在高精度測量時，平晶應避免直接用手握持，而用專用夾具或墊以亞麻布等。同時要有若干塊平晶交換使用，以減少手熱的影響。
5、兩平晶的工作面不能相互研合，否則將會損壞平晶工作面。
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